高性能薄膜压力传感器设计与工艺
High Integration Thin-film Pressure Transducer Design and Technology作者机构：国防科技大学航天技术系
出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)
年 卷 期：1997年第11期
页 面：13-14页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：介绍了基于离子束溅射工艺，生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点。
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