大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验

作     者：薛栋林 张忠玉 郑立功 张学军 XUE Dong-lin;ZHANG Zhong-yu;ZHENG Li-gong;ZHANG Xue-jan

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心吉林长春130033 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2008年第16卷第12期

页      面：2491-2496页

核心收录：

学科分类：080706[工学-化工过程机械] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家杰出青年基金资助项目(No.69925512) 

主　　题：凸非球面镜 碳化硅反射镜 零位检验 补偿器设计 

摘      要：为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.0082λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS)。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。