一种基于SU8聚合物的基因测序芯片
Fabrication of SU8-based chip suitable for genomic sequencing作者机构:中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083 中国科学院半导体研究所中国科学院北京基因组研究所生物信息获取与传感技术联合实验室北京100083
出 版 物:《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期:2013年第62卷第14期
页 面:496-503页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学]
基 金:中国科学院科研装备研制项目(批准号:YZ200823) 中国博士后科学基金(批准号:2011M500371)资助的课题~~
摘 要:基因测序技术极大地推动了生物学和医学研究的发展.结合了焦磷酸测序原理及阵列式微反应池芯片的高通量测序仪在从头测序和宏基因组测序方面有着不可替代的作用.本文首次提出并研制了一种基于SU8聚合物的基因测序芯片.选择了高传输效率、低耦合损耗的光纤面板作为基片,通过改善SU8均匀性及释放应力,在光纤面板上成功制备出百万数量级阵列式微反应池;设计并制作侧壁镀膜装置,实现了SU8阵列式微反应池侧壁选择性光学薄膜蒸镀,有效地提高了微反应池的光学隔离度,将相邻微反应池之间的光串扰率平均值从25%降低到了1%,满足了高通量焦磷酸测序对测序芯片独立并行传输弱光信号的要求.基于SU8聚合物的基因测序芯片制备工艺简单、成本低廉,具有良好的应用前景.