堇青石材料在光刻机领域的应用进展
Application Advances of Cordierite Materials in Lithography作者机构：内蒙金属材料研究所山东烟台264003 陆军装备部驻南京地区军事代表局驻烟台地区军事代表室山东烟台264000
出 版 物：《材料导报》 (Materials Reports)
年 卷 期：2022年第36卷第S2期
页 面：63-65页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：集团公司基础性创新团队支持计划(2021CXTD52-3)
摘 要：堇青石基低热膨胀陶瓷材料由于具有高刚性、低密度、高化学稳定性、高热稳定性以及良好的红外辐射能力,是高端光刻机移动平台的首选材料。除此之外,堇青石材料在汽车尾气催化、高温液体过滤器、红外辐射材料及窑炉支撑用窑具等领域亦有广泛应用。本文综述了堇青石材料在光刻机平台材料的应用进展,分析了国内外差距,并给出了今后的发展建议。
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