离子束辅助沉积制备Al/Al_2O_3双层膜及其性质
Properties of the Al/Al2O3 bilayer coatings deposited by IBAD作者机构：北京大学重离子物理研究所德国海德堡大学物理化学研究所
出 版 物：《核技术》 (Nuclear Techniques)
年 卷 期：1998年第21卷第1期
页 面：16-20页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：国家自然科学基金
摘 要：利用离子束辅助沉积的方法在ＣＫ４５号钢和ＡｌＴｉ合金的基体上制备了具有不同厚度Ａｌ层或Ａｌ_２Ｏ_３层的Ａｌ／Ａｌ_２Ｏ_３双层膜系统。Ａｌ与Ａｌ_２Ｏ_３层之间是厚度为１００ｎｍ的梯度界面层。利用电化学方法测量了样品在近中性水溶液中耐腐蚀性能。实验中还测量了样品的表面硬度和耐摩擦性能，研究了双层膜系统中Ａｌ或Ａｌ_２Ｏ_３层厚度变化对样品物理性质和化学性质的影响。
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