支撑柱型电容式超声传感器有限元分析
Finite Element Analysis of Support Column Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer作者机构：武汉理工大学现代汽车零部件技术湖北省重点实验室湖北武汉430070 武汉理工大学汽车零部件技术湖北省协同创新中心湖北武汉430070 武汉理工大学湖北省新能源与智能网联车工程技术研究中心湖北武汉430070
出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：2022年第44卷第6期
页 面：936-939页
学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学]
基 金：面向5G产业的各项高新技术专项基金资助项目(#40120411211) 新能源汽车科学与关键技术学科创新引智基地基金资助项目(B17034) 教育部创新团队发展计划基金资助项目(IRT_17R83)
主 题：电容式超声传感器 COMSOL 支撑柱型 有限元分析 低频化
摘 要：利用COMSOL软件建立简化的分析模型,对支撑柱型电容式超声传感器(CMUT)模型进行有限元分析,并将其与圆形空腔CMUT模型进行对比。结果表明,支撑柱型CMUT模型的共振频率为10 kHz,塌陷电压为52 V,有利于进行低频化设计。与圆形空腔CMUT模型相比,支撑柱型CMUT模型的有效面积较大,寄生电容较少,器件的灵敏度较高,塌陷电压较低,振膜的振幅较大,工作时发出的声信号较弱。
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