新型微流通池pH-ISFET集成传感器的研制
DEVELOPMENT OF A NOVEL MICRO FLOW-THROUGHCELL Ph-ISFET INTEGRATED SENSOR作者机构：东南大学
出 版 物：《应用科学学报》 (Journal of Applied Sciences)
年 卷 期：1997年第15卷第1期
页 面：75-81页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题：传感器 微流通池 pH-ISFET传感器 流动注入分析
摘 要：报道了一种新型微流通池ｐＥ－ＩＳＦＥＴ集成传感器，该集成传感器采用常规ＩＣ工艺、微加工技术和键合技术，实现微流通池、四对长臂式ＩＳＦＥＴ／ＲＥＦＥＴ传感器（差分测量用）和Ｔｉ／Ａｕ膜伪参考电极芯片一体化结构，芯片面积为８ｍｍｘ６ｍｍ，微流通池体积为０．７ｍｍｘ５．０ｍｍ×０．３ｍｍ，当集成传感器外部配上蠕动泵、注入阀和测量电路则构成微流通池ｐＨ－ＩＳＦＥＴ流动注入分析（ＦＩＡ）系统。实验结果表明，该集成传感器和ＦＩＡ系统具有响应快、耗样液量少等特点，且稳定性和可靠性大为提高。
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