一种基于金阴极MCP的冷阴极电子源的研制

作     者：姚文静 刘术林 闫保军 张斌婷 韦雯露 彭华兴 杨玉真 YAO Wen-jing;LIU Shu-lin;YAN Bao-jun;ZHANG Bin-ting;WEI Wen-lu;PENG Hua-xing;YANG Yu-zhen

作者机构：河南大学物理与电子学院河南开封475004 中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室北京100049 中国科学院大学核科学与技术学院北京100049 中国科学院大学物理科学学院北京100049 上海中医药大学针灸推拿学院上海201203 

出 版 物：《质谱学报》 (Journal of Chinese Mass Spectrometry Society)

年 卷 期：2023年第44卷第1期

页      面：96-104页

核心收录：

学科分类：081704[工学-应用化学] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 

基　　金：国家自然科学基金(11535014,11975017,11675278) 核探测与核电子学重点实验室项目(SKLPDE-ZZ-2021-02,SKLPDE-ZZ-202215) 

主　　题：电子源 深紫外 金阴极 微通道板(MCP) 电子束流 

摘      要：采用深紫外光子激发金阴极产生的冷阴极电子源具有诸多优点,将其应用于电子轰击离子源(EI)有助于获得高质量的离子源。本实验分别采用在JGS2石英玻璃上蒸镀金薄膜构成透射式金阴极、在微通道板(MCP)输入面蒸镀金薄膜构成反射式金阴极,将二者以不同的组合方式装配在一起,通过施加不同的间隙电压,从而获得较大范围的电子流输出,研制出电子束流可调(10^(-11)~10^(-5) A)、均匀分布(非均匀度6.5%)的稳定输出(稳定工作时间大于5 h)电子源,有望在高质量EI源中得到推广和应用。