TiB_2超硬薄膜的合成及性能
SYNTHESIS AND PROPERTIES OF SUPER-HARD TiB_2 FILM作者机构：中国科学院上海冶金研究所 CSIRO应用物理分部
出 版 物：《材料研究学报》 (Chinese Journal of Materials Research)
年 卷 期：1996年第10卷第2期
页 面：191-194页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：采用离子束溅射方法制备了ＴｉＢ２硬质薄膜ＡＦＭ观察表明薄膜表面非常光滑ＡＥＳ、ＸＲＤ和ＸＰＳ分析证明薄膜中上要是Ｂ、Ｔｉ比为１．８，六方结构的ＴｉＢ２多品体，且呈现强烈的（１０１）择优取向．由超显微压痕测量系统测得的加载、卸载曲线计算得到的薄膜的防微硬度高达４８ＧＰａ。
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