EVO MA 15钨灯丝扫描电子显微镜的日常维护
Routine Maintenance of EVO MA 15 Tungsten Filament Scanning Electron Microscope作者机构：华南农业大学测试中心广东广州510642
出 版 物：《分析测试技术与仪器》 (Analysis and Testing Technology and Instruments)
年 卷 期：2022年第28卷第4期
页 面：480-484页
学科分类：07[理学] 08[工学] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 0803[工学-光学工程]
主 题：钨灯丝扫描电子显微镜 日常维护
摘 要：钨灯丝扫描电子显微镜具有造价和运行成本低、样品适用性广的特点,在各研究机构的利用率很高,日常维护保养是保障其性能的必要手段.除了常规的扫描电子显微镜维护以外,因钨灯丝扫描电子显微镜结构特点,又有一些异于其它类型扫描电子显微镜的维护要点.以蔡司的EVO MA 15型钨灯丝扫描电子显微镜为例,从电子光学系统、真空系统、成像系统三个方面,阐述了钨灯丝扫描电子显微镜日常维护保养的具体办法,以供同行参考.
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