导电薄膜电阻测量技术的可靠性研究
On the reliability of resistance measurement of conducting thin films作者机构：广州半导体材料研究所广东广州510610
出 版 物：《真空》 (Vacuum)
年 卷 期：2009年第46卷第3期
页 面：53-56页
学科分类：080802[工学-电力系统及其自动化] 0808[工学-电气工程] 08[工学]
摘 要：针对手提式薄膜方块电阻测试仪在使用中容易出现的问题,进行分析研究,提出了解决方案,并在实验中得到实现。研究的问题包括:电池供电的电压监测;探头完全与被测样品接触良好的检测;防止探针对被测样品造成电击穿;测量时自动进行量程转换等。
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