磁控溅射制备不同光吸收涂层的效能对比研究
Comparative study on the efficiency of preparing different light absorption coatings by magnetron sputtering作者机构：山东三齐能源有限公司山东济南250220 山东建筑大学市政与环境工程学院山东济南250101 蓬莱登州街道办事处应急管理办公室山东烟台265600
出 版 物：《山东建筑大学学报》 (Journal of Shandong Jianzhu University)
年 卷 期：2022年第37卷第6期
页 面：83-89页
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：山东省重大科技创新项目(2019JZZY020211)
摘 要：设计适宜的光吸收涂层并制备相应的吸收膜是实现高效利用太阳能的重要手段。文章依据光吸收涂层的设计理论,应用磁控溅射的方法制备了两种代表性的膜系——双层膜和六层膜,并通过两类膜系的光吸收实验,比较了两种膜层的效能,应用X射线衍射和原子力显微镜从微观结构解释了双层膜吸收性能与膜组成的关系。结果表明:以Cu膜为红外反射膜的双层膜系,膜层的厚度与吸收率成反比,制备膜层反射率最低的溅射时间为5 s;与双层膜相比,六层膜由于不同膜层的相互补充作用,具备更好的吸收率和更低的反射率,在波长为500~2000 nm时,六层膜样品的反射率为3%~5%。
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