Mn-Fe-P-Si薄膜的制备与性能研究

作     者：龚宝云 李恒基 沈奕君 钱凤娇 

作者机构：空天信息材料与物理工信部重点实验室南京航空航天大学物理学院江苏 南京 

出 版 物：《材料科学》 (Material Sciences)

年 卷 期：2022年第12卷第11期

页      面：1080-1087页

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 0702[理学-物理学] 

主　　题：磁热材料 Mn-Fe-P-Si薄膜 脉冲激光沉积 磁相变 

摘      要：本文主要研究了金属磁热材料Mn-Fe-P-Si薄膜的制备工艺及其磁性能。利用脉冲激光沉积法分别在刚性Si衬底和柔性云母Mica衬底上沉积Mn-Fe-P-Si薄膜。结果表明,在刚性Si衬底上制备的薄膜呈现明显孔隙,连续性较差,这可能是由于Mn-Fe-P-Si与衬底晶格参数存在失配引起的。而在柔性Mica衬底上Mn-Fe-P-Si薄膜元素分布均匀且致密性好。此外,本文还研究Mn-Fe-P-Si薄膜的结晶性和磁性能与退火温度的相关性。结果显示在退火温度低于1000℃时,Mn-Fe-P-Si薄膜结晶度较低,相应的磁性能也较差。当退火温度达到1100℃后,Mn-Fe-P-Si薄膜充分结晶,且表现出良好的磁性能。本论文有关Mn-Fe-P-Si薄膜形态的研究将有利于提升磁热材料的机械性能,为其实用化提供理论基础。