衬底对飞秒激光脉冲照射后薄金属目标光热响应的影响

作     者：TSIBIDIS G D STRATAKIS E TSIBIDIS G D;STRATAKIS E

作者机构：Institute of Electronic Structure and Laser(IESL)Foundation for Research and Technology(FORTH)N.Plastira 100Vassilika Vouton70013 HeraklionCreteGreece Department of Materials Science and TechnologyUniversity of Crete70013 HeraklionCreteGreece Department of PhysicsUniversity of Crete70013 HeraklionCreteGreece 

出 版 物：《Journal of Central South University》 (中南大学学报（英文版）)

年 卷 期：2022年第29卷第10期

页      面：3410-3421页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0806[工学-冶金工程] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基　　金：Projects(862016(Bio Combs4Nanofibres) HELLAS-CH MIS 5002735) funded by the Operational Programme “Competitiveness, Entrepreneurship and Innovation” and co-financed by Greece and the EU (European Regional Development Fund) Project (COST Action TUMIEE) supported by COST-European Cooperation in Science and Technology。 

主　　题：飞秒激光脉冲 超快动力学 光激发 双温度模型 

摘      要：飞秒脉冲激光器由于其在微、纳米尺度上图案制造精确的能力,在过去的几十年里得到了广泛的应用。对于高效材料加工,一个关键问题是确定在实验装置中使用的激光参数,而在已进行的系统研究中,主要是强调独立的单个参数的影响,很少关注辐照的固体基底材料的作用。因此,本研究强调了衬底对不同厚度薄膜的影响,结果表明,衬底的光学和热物理性质都对辐照薄膜上的热指纹有影响,在较小的薄膜尺寸下影响较大。选择了两种代表性材料硅和熔融硅作为不同光学和热物理形态薄膜(金和镍)的典型衬底,并对辐照的固体热响应和损伤阈值进行评估,为基于激光的制备装置和工艺的设计提供指导。