射频SAW器件非线性信号的测量及产生机制分析

作     者：李百川 罗阳 傅肃磊 王为标 张巧珍 LI Baichuan;LUO Yang;FU Sulei;WANG Weibiao;ZHANG Qiaozhen

作者机构：上海师范大学信息与机电工程学院上海200234 清华大学材料学院北京100084 无锡市好达电子股份有限公司江苏无锡214124 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2022年第44卷第5期

页      面：682-686页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金青年基金资助项目(11904233) 

主　　题：声表面波(SAW)器件 非线性 测量系统 谐波信号 产生机制 

摘      要：射频前端的高度集成和高能量密度使声表面波(SAW)器件的非线性问题愈发严重。该文搭建了射频SAW器件非线性信号的测量系统,对SAW谐振器的二次谐波(H2)和三次谐波(H3)信号进行了准确测量。分析测量结果,讨论了非线性谐波信号的产生机制,并通过非线性有限元(FEM)模型仿真结果与测量结果拟合对比,验证了介电非线性和声应变的非线性效应对谐波产生的影响,为进一步研究非线性抑制方法,设计高线性度SAW器件提供了重要支撑。