高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展

作     者：黄秋实 齐润泽 张哲 李文斌 蒋励 张云学 庄野琪 张众 王占山 HUANG Qiushi;QI Runze;ZHANG Zhe;LI Wenbin;JIANG Li;ZHANG Yunxue;ZHUANG Yeqi;ZHANG Zhong;WANG Zhanshan

作者机构：同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室精密光学工程技术研究所上海200092 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2022年第30卷第21期

页      面：2793-2804页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.12075170) 上海市青年科技启明星计划项目(No.19QA1409200) 

主　　题：X射线多层膜 反射率 大尺寸反射元件 多层光栅 

摘      要：X射线多层膜是同步辐射与自由电子激光、天文观测、等离子体诊断等大科学装置和实验室分析仪器的重要光学元件,能高效率反射X射线并实现单色和偏振化等调控。本课题组在近二十年的工作中对X射线多层膜的设计、制备和表征方法开展了系统深入的研究,研制了一系列工作在软X射线和硬X射线不同波段的高性能多层膜,反射率达到国际先进水平;基于磁控溅射技术建立了大尺寸掠入射X射线多层膜的镀制平台,最大镀膜尺寸达1.2 m,均匀性优于0.5%(均方根值),制备的硬X射线多层膜反射镜成功应用在国内外大科学装置中;通过将多层膜与反射光栅相结合,创新发展了超高效率韧X射线多层膜光栅元件,相比传统单层膜光栅,该元件能将韧X射线衍射效率最高提升40倍。本文将简要介绍课题组在X射线多层膜元件领域的研究进展。