薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤

作     者：李文斌 李淑慧 潘刘洋 张哲 谢春 黄秋实 王占山 LI Wenbin;LI Shuhui;PAN Liuyang;ZHANG Zhe;XIE Chun;HUANG Qiushi;WANG Zhanshan

作者机构：同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室上海市数字光学前沿科学研究基地上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台上海200092 同济大学中德工程学院上海200092 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2022年第30卷第21期

页      面：2698-2710页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.11875203 No.61621001) 

主　　题：极紫外 薄膜反射镜 抗损伤性能 损伤机制 

摘      要：随着超短超强自由电子激光等光源的应用,极紫外、X射线波段薄膜反射镜的抗辐照性能备受关注。本文介绍了IPOE实验室搭建的纳秒极紫外辐照损伤装置,并对极紫外-X射线自由电子激光常用的B_(4)C薄膜反射镜、Au和Ru金属单层膜反射镜、B_(4)C/Ru双层膜反射镜以及极紫外光刻用Mo/Si多层膜反射镜开展了辐照损伤测试,获得了不同材料和结构的薄膜反射镜抗损伤性能,结合理论模拟揭示了热熔融、热应力和膜层间扩散反应等损伤机制的作用。