优化关键工艺参数提升功率器件引线键合的可靠性

作     者：聂洪林 陈佳荣 任万春 郭林 蔡少峰 李科 陈凤甫 蒲俊德 Nie Honglin;Chen Jiarong;Ren Wanchun;Guo Lin;Cai Shaofeng;Li Ke;Chen Fengfu;Pu Junde

作者机构：西南科技大学信息工程学院四川绵阳621000 四川立泰电子有限公司四川遂宁629019 

出 版 物：《电子测试》 (Electronic Test)

年 卷 期：2022年第36卷第19期

页      面：43-47页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：遂宁市重点研发项目(20191100000644256) 2021年大学生创新创业训练计划项目(S202110619055) 西南科技大学大学生创新基金项目精准资助专项(JZ21-093) 

主　　题：引线键合 功率器件 可靠性 拉断力测试 工艺参数优化 

摘      要：探究了引线键合工艺的重要参数对功率器件键合可靠性的影响机制,进而优化超声引线键合工艺参数。采用单参数变化实验设计方法,改变超声功率、键合压力、键合时间等关键参数制备芯片,利用拉断力测试方法表征引线键合的质量,研究工艺参数与键合质量的映射关系,分析其影响机理;进一步利用正交实验得到引线键合关键工艺参数的优化配方。实验结果表明,当超声功率210 mW、键合时间80 ms和键合压力3.4 N时,可得到较好的键合可靠性和数据收敛性。而且,参数中超声功率对键合可靠性的影响最大,键合压力次之,而键合时间的影响不显著。