背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用
Application of Backscattered Detector in Nano-Scale High-Resolution Surface Analysis of Field Emission SEM作者机构：吉林大学测试科学实验中心长春130012
出 版 物：《吉林大学学报（理学版）》 (Journal of Jilin University:Science Edition)
年 卷 期：2022年第60卷第5期
页 面：1189-1194页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
基 金：国家自然科学基金面上项目(批准号:51872115)
摘 要：以JSM-7900F型场发射扫描电子显微镜为例,讨论二次电子和背散射电子在形貌表征中的应用,利用该仪器配备的3种探头,通过优化实验条件,对具有纳米尺度的样品进行形貌观察,对比分析成像效果,并讨论各实验条件的影响因素.结果表明,利用背散射探测器结合电子束减速模式可对玻璃表面几纳米的颗粒成像,图像信噪比较高,成像效果优于高分辨模式即高位电子探头,拓展了背散射电子在高分辨成像中的应用.
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