长焦深连续立方相位板的飞秒激光加工与性能测试

作     者：李鹏举 潘登 刘顺利 LI Pengju;PAN Deng;LIU Shunli

作者机构：中国科学技术大学工程科学学院安徽合肥230031 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2022年第30卷第17期

页      面：2088-2093页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：航空科学基金资助项目(No.2018ZE78004) 

主　　题：飞秒激光加工 长焦深光束 相位板 光学仿真 光学测试 

摘      要：传统的长焦深光束生成器件,诸如空间光调制器和正负透镜组合,存在光学元件尺寸较大、难以与微纳光学系统集成等问题,发展一种长焦深光束生成方法并制备一种结构简单、尺寸紧凑且成像质量良好的长焦深光束器件尤为重要。提出了一种利用连续立方相位板调制来产生长焦深光束的方法,通过飞秒激光直写技术制备了高尺寸精度(直径为108μm,高1.1μm)的相位板,实现了可调控的焦距长度(50~150μm)和焦深(100~600μm),并且对相位板进行光学测试,展示了其长聚焦能力和成像能力。该器件可用于高性能集成光学系统、微纳光学制造等领域。