深紫外大口径非球面反射膜的均匀性研究

作     者：潘永刚 林兆文 王奔 付秀华 PAN Yong-gang;LIN Zhao-wen;WANG Ben;FU Xiu-hua

作者机构：长春理工大学中山研究院广东中山528437 长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 中山吉联光电科技有限公司广东中山528437 

出 版 物：《中国光学（中英文）》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2022年第15卷第4期

页      面：740-746页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：吉林省科技发展计划项目(No.20190302095GX)。 

主　　题：薄膜 均匀性 修正挡板 大口径 非球面 

摘      要：膜厚均匀性作为高精度光学薄膜的重要参数,对光学薄膜的性能起到至关重要的作用,特别是大尺寸高精度反射膜,对膜厚均匀性的要求极高。本文通过研究蒸发源的发射特性与膜厚分布,结合Mathcad软件建立精准数学及物理模型,编写自动程序,模拟修正挡板形状,极大地提高了薄膜制备均匀性修正的效率与准确性。通过该方法,在公自转行星蒸发沉积设备上制备了直径为320 mm的非球面深紫外反射镜,在紫外(240~300 nm)波段平均反射率大于97.5%,均匀性优于0.5%。本研究对大口径非球面薄膜的均匀性修正提供了理论基础与技术支撑。