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扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

A study based on diffusion theory for exchange-reaction of RLA model

作     者:郑小平 张佩峰 范多旺 Zheng Xiao-Ping;Zhang Pei-Feng;Fan Duo-Wang

作者机构:兰州城市学院电子信息科学与技术研究所兰州730070 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室 

出 版 物:《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期:2008年第57卷第1期

页      面:425-429页

核心收录:

学科分类:08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 

基  金:国家自然科学基金(批准号:10574059) 甘肃省自然科学基金(批准号:0710RJZA074) 兰州交通大学“青蓝”人才工程计划、光电技术与智能控制教育部重点实验室开放基金(批准号:K040101) 中国博士后科学基金资助的课题 

主  题:扩散理论 薄膜生长 交换作用 RLA 

摘      要:以扩散理论为基础,建立以基本微观过程为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的交换作用只是若干个基本微观过程的组合,大多数交换不是位置的完全交换,交换比也并非恒为1.

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