非晶氧化物薄膜晶体管的制备及电学性能综合性教学实验设计与实践

作     者：许磊 胡梦真 宋增才 张新楠 XU Lei;HU Mengzhen;SONG Zengcai;ZHANG Xinnan

作者机构：华北水利水电大学物理与电子学院河南郑州450046 

出 版 物：《实验技术与管理》 (Experimental Technology and Management)

年 卷 期：2022年第39卷第8期

页      面：181-184,188页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0401[教育学-教育学] 04[教育学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 040102[教育学-课程与教学论] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(11574083,61904054) 教育部产学合作协同育人项目(202102575009) 华北水利水电大学教育教学改革研究与实践项目(2021070) 

主　　题：非晶氧化物半导体 磁控溅射 退火 实验设计 薄膜晶体管 

摘      要：文章设计了非晶氧化物薄膜晶体管制备及电学性能综合性教学实验项目。实验教学实践表明,通过真空溅射镀膜、器件微加工及性能检测等多个实验环节的设计,有助于学生认识电子材料与器件对信息时代的基石作用,了解新型显示和智能终端领域的前沿技术及国家的重大需求。将多个实验内容有机关联成一个综合性教学实验项目,有利于学生理解复杂工程问题的内涵。