MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展
Domestic research status and future technology development of MEMS hydrophone作者机构：工业和信息化部第四电子研究院北京100007 北京航空航天大学北京100083 山东省东仪光电有限公司山东烟台264000 中国电子科技集团公司第三研究所北京100015
出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)
年 卷 期：2022年第41卷第8期
页 面：157-160页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况。在MEMS水听器的技术发展过程中,从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器,MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化,而且未来的水听器走向更适合批量制造。针对国家海洋战略,未来批量制造的MEMS水听器,在封装和标定技术方面,提出了几个值得注意的技术问题。
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