面向micro-LED显示的巨量转移及检测修复技术

作     者：朱桂强 刘怡静 明睿 石峰 成梦娇 Guiqiang Zhu;Yijing Liu;Rui Ming;Feng Shi;Mengjiao Cheng

作者机构：State Key Laboratory of Chemical Resource EngineeringBeijing University of Chemical TechnologyBeijing 100029China 

出 版 物：《Science China Materials》 (中国科学（材料科学（英文版）)

年 卷 期：2022年第65卷第8期

页      面：2128-2153页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：supported by the National ScienceFoundation for Distinguished Young Scholars(51925301) the National Natural Science Foundation of China(52122315 and 21972008) Beijing Nova Program(Z201100006820021) the Fundamental Research Funds for the Central Universities(XK1902) the Wanren Plan(wrjh201903) the Open Project of State Key Laboratory(sklssm2022)。 

主　　题：LED技术 LED显示 亮度对比度 柔性电子 自组装技术 产业化过程 车载显示 显示器件 

摘      要：微发光二极管(micro-LED)是一种新型显示技术,是由尺寸小于50μm的氮化镓发光二极管芯片形成高密度的显示阵列,具有高亮度对比度、高分辨率、快响应、低能耗等优势,各项指标远超现有主流显示器件,被认为是未来终极显示技术,有望用于巨幅或车载显示、AR/VR眼镜、柔性设备等前沿领域.虽然micro-LED技术具有广阔的应用前景,但是其产业化过程仍然面临着一些问题与挑战,其中一大技术瓶颈即为巨量转移技术.近年来,国内外研究组在巨量转移研究中取得了诸多进展,相关行业巨头也争相投入研发并形成了一系列概念性产品,然而仍未形成具有主导性优势的巨量转移方法.为此,本文主要综述了目前micro-LED显示技术相关的巨量转移方法以及与之密切相关的检测修复技术.根据转移原理,我们将所报道的转移方法分为三类,即拾取-放置技术,流体自组装技术,激光选择性释放技术,并对其原理和优缺点进行了分析比较;同时,我们还讨论了巨量转移后的检测修复技术,这对于制备高质量micro-LED显示屏也非常重要.未来,巨量转移技术与多种检测方法高度融合,有望实现高良率、低成本的目标.此外,现有的转移方法对于具有多器件集成需求的前沿技术也具有重要意义,包括柔性电子、传感、太阳能电池等.