靶场终端传输反射镜表面洁净控制技术研究

作     者：李养帅 张严峰 刘志刚 周申蕾 孙明营 朱健强 Li Yangshuai;Zhang Yanfeng;Liu Zhigang;Zhou Shenlei;Sun Mingying;Zhu Jianqiang

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室上海201800 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2022年第49卷第13期

页      面：15-22页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国科学院战略性先导科技专项(XDA25020202) 中国科学院青年创新促进会资助项目(2018282) 

主　　题：光学器件 传输反射镜 洁净控制 颗粒污染物 风刀 

摘      要：传输反射镜是高功率激光装置中连接主放大系统与靶场终端的关键组成部分,实现它的表面洁净控制尤为必要。本课题组基于风刀高速吹扫颗粒物去除技术,探究了开放式环境下,风刀安装高度、进气压力、出气口间隙、吹扫次数等工艺参数对靶场终端反射镜表面AlO、灰尘和不锈钢等颗粒物去除效率的影响,并从实验中捕捉到了颗粒物的动态运动轨迹。研究结果表明:提高进气压力可以提高颗粒物的去除效率;当风刀安装高度为4 mm、进气压力为1.5 MPa时,0.05 mm或0.1 mm的风刀出气口间隙均可实现90%以上的平均去除效率;当进气压力不高于1.2 MPa时,增加吹扫次数并不能提高颗粒物的去除效率;在去除过程中,颗粒物沿着高速气流方向直线运动。本次实验结果为靶场终端传输反射镜在线表面洁净控制提供了重要参考和技术支撑。