基于多波长光学系统结构的透射波前检测

作     者：朱大勇 张齐元 王芳 朱怀康 贾文昕 韩森 ZHU Da-yong;ZHANG Qi-yuan;WANG Fang;ZHU Huai-kang;JIA Wen-xin;HAN Sen

作者机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 苏州慧利仪器有限责任公司江苏苏州215123 苏州科技大学物理科学与技术学院江苏苏州215009 

出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)

年 卷 期：2022年第52卷第7期

页      面：1064-1072页

学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：国家重点研发计划项目(No.2016YFF0101903)资助 

主　　题：透射波前 激光干涉仪 光学系统 Zernike系数 

摘      要：基于多波长波前检测技术的实际需要,设计了多波长激光干涉仪光学结构。结构基于菲索干涉原理,使用分光棱镜集成5个波长的激光光源。通过笼式系统减小了光学结构各部分的同轴误差,采用消色差镜头作为干涉系统的准直系统和成像系统,缩短了调整准直系统行程的同时,也减小了系统内部光学系统的色差。使用该光学结构对光学系统进行测量,采用转换多项式法计算的Zernike系数-波长曲线符合预测结果。多波长激光干涉仪光学结构提高了多波长透射波前的检测效率,有利于多波长透射波前检测技术的工程化和推广,并为新仪器的开发提供了借鉴。