两种微米金刚石聚晶颗粒薄膜的制备与场发射研究
Preparation and Field Emission Study of Two Kinds of Micron Diamond Polycrystalline Particle Films作者机构：郑州师范学院物理与电子工程学院郑州450044 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室郑州450052
出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)
年 卷 期：2022年第43卷第3期
页 面：573-577页
学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
基 金：教育部科学技术重点资助项目(205091) 2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140) 2018年河南省重点研发与推广专项项目(182102210564) 2017年度河南省科技计划项目(172102210115)
主 题：微波等离子体化学气相沉积 微米金刚石聚晶薄膜 场发射
摘 要：采用微波等离子体化学气相沉积,在不同的沉积条件下得到两种微米金刚石颗粒薄膜,通过拉曼光谱仪和X射线仪分析了两种薄膜的成分,用扫描电子显微镜分析了两种薄膜的表面形貌,用二级结构的场发射装置研究了薄膜的场发射性能,最终分析并讨论了场发射性能优异的微米金刚石薄膜的特征。
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