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椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法

Data Analysis for Spectroscopic Ellipsometry with Piecewise Polynomial Method

作者：李秋俊莫党 Li Qiujun Mo Dang

作者机构：中山大学物理学系

出版物：《中山大学学报（自然科学版）》 (Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni)

年卷期：1998年第37卷第6期

页面：35-39页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]

基　　金：国家自然科学基金广东省高等学校重点学科资助

主　　题：椭圆偏振光谱数据处理分段多项法铁电薄膜

摘要：采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据，可以同时得到样品的厚度和光学常数谱．２个计算实例，①为ＳｉＯ２薄膜，②为新型的掺镧的锆钛酸铅（ＰＬＺＴ）非晶类铁电薄膜．该方法精度高，具有较好的通用性．

本地馆藏 |

1、借阅数量：每证可借书6册，期刊2册，团体读者证可借书刊300册。 2、借阅时间：个人借期为30天，每本书可续借1次，借期为30天；团体借期为90天。 3、归还地点：3楼服务台、自助借还设备、还书箱、各分馆 4、馆际互借：读者未能在本馆获取所需文献资料，可至参考咨询阅览室服务台填写《南通市图书馆馆际互借读者申请表》，根据馆际互借协议，我馆将为读者向其他馆代借文献。馆际互借过程中所产生的费用（资料复印、邮寄费等），由读者个人承担。 5、服务电话续借：59003605 59003606 咨询：81100100 59003600

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