拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试
Applications of Raman Spectroscopy in Stress Performance Measurement of Micro-cantilever作者机构：中北大学仪器与动态测试教育部重点实验室太原030051 清华大学北京100084
出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)
年 卷 期：2005年第16卷第14期
页 面：1292-1295页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404040)
摘 要：介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法。利用该方法,实现了标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试。测试结果表明EPW体硅腐蚀形成的梁—质量块系统中梁与质量块上存在40～160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;对微结构上的不同位置,边缘的残余应力普遍要比中心位置的大一些。
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