激光驱动气相反应合成SiC超细粉末的实验研究
A STUDY ON LASER-DRIVEN GAS-PHASE REACTION FOR PRODUCING ULTRAFINE SiC POWDER出 版 物：《南京化工学院学报》 (Journal of Nanjing Tech University(Natural Science Edition))
年 卷 期：1993年第15卷第4期
页 面：53-57页
学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 070303[理学-有机化学] 0703[理学-化学]
摘 要：利用 CW-CO_2激光驱动气相化学反应的方法,以 SiH_4和 C_2H_4作为原料气体合成了 SiC 超细粉末。本工艺方法的特点是反应器壁是冷的,无潜在的污染源,不存在热表面;反应体积小,以保持陡的温度梯度;反应气体直接吸收激光辐射而反应,容易得到高温;反应区的条件容易控制。另外,通过控制反应条件,能够有效地控制 SiC 超细粉末的纯度和粒度。
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