单晶硅超声振动辅助切削亚表面裂纹损伤检测算法
Detection algorithm of sub-surface crack damage in ultrasonic vibration assisted cutting of monocrystalline silicon作者机构：长春工业大学机电工程学院长春130122 长春工业大学人文信息学院长春130122
出 版 物：《吉林大学学报（工学版）》 (Journal of Jilin University:Engineering and Technology Edition)
年 卷 期：2022年第52卷第5期
页 面：1016-1021页
核心收录：
学科分类：08[工学] 081203[工学-计算机应用技术] 1010[医学-医学技术（可授医学、理学学位）] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 1009[医学-特种医学]
基 金：吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20201309KJ)。
摘 要：为降低加工零件亚表面损伤程度,提出基于机器视觉的单晶硅超声振动辅助切削亚表面裂纹损伤检测算法。搭建了一套单晶硅表面图像采集装置,选择合适的光源采集分辨率较高的裂纹损伤图像,使用高斯核和图像熵提取裂纹损伤特征点和特征尺度,将裂纹特征与高斯函数的二阶导结合作卷积处理,用于裂纹损伤检测,以多个特征尺度下的最大值作为检测结果。实验结果表明:设计的基于机器视觉的检测算法检测精度能够达到0.9以上,检测效果较好。
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