基于利特罗角的8细分光栅干涉仪读头设计
Design of reading head of 8 subdivision grating interferometer based on Littrow angle作者机构：桂林电子科技大学电子工程与自动化学院广西光电信息处理重点实验室广西桂林541004
出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)
年 卷 期：2022年第43卷第5期
页 面：38-42页
基 金：国家科技重大专项课题(No.2017ZX02101007-003) 国家自然科学基金(No.61965005) 广西自然科学基金(No.2019GXNSFDA185010)。
主 题：光栅干涉仪 读头结构设计 多普勒频移 ZEMAX仿真
摘 要：提出了一种外差式利特罗结构的高光学细分读头设计方案,该读头设计实现了8倍光学细分,从而提高了测量系统的分辨力,实现精密测量。基于光栅衍射原理和多普勒频移分析了该读头的测量原理,构建光栅干涉仪读头的测量模型。使用ZEMAX仿真软件搭建读头光路并进行仿真分析,获得相干相位图样,从而验证了该读头结构的可行性。通过MATLAB与ZEMAX进行动态数据交换,实现该读头测量的信号对比度仿真,测量信号的对比度为0.426。
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