L~Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究

作     者：吴倩楠 范丽娜 李孟委 Wu Qiannan;Fan Lina;Li Mengwei

作者机构：中北大学前沿交叉科学研究院太原030051 中北大学理学院太原030051 中北大学微系统集成研究中心太原030051 

出 版 物：《电子测量技术》 (Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2022年第45卷第8期

页      面：7-13页

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：2020年装备发展部型谱项目(2006WW0011)资助。 

主　　题：单刀七掷开关 MEMS 米字型功分器 小体积 低插损 

摘      要：针对目前MEMS单刀七掷开关体积大、插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于“米字型功分器的单刀七掷MEMS开关,通过HFSS软件对射频MEMS开关单元和“米字型功分器进行设计,对开关的S参数、驻波比进行了仿真研究,并采用COMSOL软件对射频MEMS开关单元进行机械性能分析。结果表明,在1~40 GHz频段内,单刀七掷MEMS开关各个端口的插入损耗≤0.45 dB@40 GHz,隔离度≥29.5 dB@40 GHz,驻波比≤1.45,且体积仅有0.65 mm×0.5 mm×0.5 mm。此设计可与滤波器、衰减电阻、天线等集成,应用于多通道可调谐MEMS器件中,在卫星通信、雷达、和微波测试领域中具有一定的应用价值。