多层压电驱动器在光刻机中的应用
Application of Multilayer Piezoelectric Actuator in Lithography Scanners作者机构：上海材料研究所压电材料及器件研究中心上海200437 上海电子线路智能保护工程技术研究中心上海201202 上海材料研究所上海市工程材料应用与评价重点实验室上海200437 上海集成电路研发中心有限公司上海201210
出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)
年 卷 期：2022年第59卷第9期
页 面：393-402页
核心收录：
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 0702[理学-物理学]
摘 要：多层压电驱动器具有体积小、响应快、刚度大、位移精度高、驱动力大等优点,在光刻机的开发中有广泛的应用。简要介绍了多层压电驱动器的基本结构与特征,列举了多层压电驱动器在光刻机投影物镜的高精度微调、掩模台的定位及光刻机的主动减振等方面的典型应用。最后,对多层压电驱动器的发展方向进行了展望。
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