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Influence of Nickel Catalyst Film Thickness and Cooling Condition for Synthesis of Monolayer Graphene by Thermal Chemical Vapor Deposition at 800 ℃

Influence of Nickel Catalyst Film Thickness and Cooling Condition for Synthesis of Monolayer Graphene by Thermal Chemical Vapor Deposition at 800 ℃

作     者:Kazunori Ichikawa Hiroshi Akamatsu Yoshiyuki Suda Yoshiyuki Nonoguchi Yukiharu Uraoka 

作者机构:Department of Electrical Engineering Kobe City College of Technology Kobecity Hyogo 651-2194 Japan Department of Electrical and Electronic Information Engineering Toyohashi University of Technology Toyohashi City AichL441-8580 Japan Grduate School of Materials Science Nara Institute of Science and Technology Ikoma City Nara 630-0192 Japan 

出 版 物:《材料科学与工程(中英文B版)》 (Journal of Materials Science and Engineering B)

年 卷 期:2015年第5卷第9期

页      面:341-346页

学科分类:081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 

主  题:薄膜厚度 镍催化剂 冷却条件 石墨 单层 蒸汽沉积 化学气相沉积 合成方法 

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