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双频激光干涉仪的应用研究综述

Review of application research of dual frequency laser interferometer

作     者:于海娇 Yu Haijiao

作者机构:吉林建筑科技学院电气信息工程学院吉林长春130114 

出 版 物:《电子测试》 (Electronic Test)

年 卷 期:2022年第36卷第8期

页      面:124-126页

学科分类:08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基  金:吉林建筑科技学院2020年度校级科研项目“基于高精度非球面面形检测的对准方案研究(校科字008号)”研究成果。 

主  题:双频激光干涉 精密测量 应用 

摘      要:本文对双频激光干涉仪在以上领域中的应用进行了分析研究。

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