双频激光干涉仪的应用研究综述
Review of application research of dual frequency laser interferometer作者机构:吉林建筑科技学院电气信息工程学院吉林长春130114
出 版 物:《电子测试》 (Electronic Test)
年 卷 期:2022年第36卷第8期
页 面:124-126页
学科分类:08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术]
基 金:吉林建筑科技学院2020年度校级科研项目“基于高精度非球面面形检测的对准方案研究(校科字008号)”研究成果。
摘 要:本文对双频激光干涉仪在以上领域中的应用进行了分析研究。