飞秒贝塞尔光束直写铌酸锂高深径比光子晶体结构

作     者：孙伟高 季凌飞 郑锦灿 温亚楠 王冠强 Sun Weigao;Ji Lingfei;Zheng Jincan;Wen Yanan;Wang Guanqiang

作者机构：北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院北京100124 北京工业大学跨尺度激光成型制造技术教育部重点实验室北京100124 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2022年第49卷第10期

页      面：143-151页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金(51975017) 北京市教委重点科研项目(KZ202110005012) 国家重点研发计划(2018YFB1107500) 

主　　题：激光技术 超快激光 贝塞尔光束 铌酸锂 深径比 光子晶体 

摘      要：具有深微孔结构的铌酸锂晶体可以成为具有优良光波选择性调制功能的光子晶体器件。然而,目前使用的聚焦离子束刻蚀、化学刻蚀或常规激光制孔等方法很难获得光子晶体所需的高深径比微孔。本文基于飞秒脉冲高峰值功率、超短脉宽的基本特点,通过对光束进行贝塞尔整形以及对光束与铌酸锂晶体的相互作用进行调控和研究,用飞秒单脉冲在铌酸锂晶体内部一步制备出深径比约为700∶1的大面积均匀微孔阵列。测试结果表明,设计并制备的高深径比微孔阵列光子晶体结构对450~510 nm波长范围内的光束具有明显的选择透过性。