飞秒激光制备梯度润湿性单晶硅表面

作     者：杨奇彪 卞若男 王杰 周维 刘顿 YANG Qibiao;BIAN Ruonan;WANG Jie;ZHOU Wei;LIU Dun

作者机构：湖北工业大学机械工程学院武汉430068 

出 版 物：《中国表面工程》 (China Surface Engineering)

年 卷 期：2021年第34卷第6期

页      面：175-180页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(51977061) 湖北省自然科学基金(2019CFB163) 湖北省教育厅(D20181401)资助项目 

主　　题：飞秒激光 单晶硅 梯度润湿性 接触角 

摘      要：针对化学气相沉积、自组装技术等表面制备方法存在化学污染、表面结合强度低等问题,运用飞秒激光在单晶硅表面加工正方形微凹坑阵列制备梯度润湿性表面,使用白光干涉仪、扫描电子显微镜、能谱仪和接触角测量仪分别测量单晶硅表面粗糙度、微观形貌、化学成分及接触角。通过改变激光能量密度制备不同梯度润湿性表面,研究不同激光能量密度下液滴在梯度润湿性表面上的铺展规律。结果表明:随激光能量密度增大,表面粗糙度参数算术平均高度、均方根斜率和界面扩展面积比整体呈增大趋势,表面接触角整体呈减小趋势。由于激光能量密度增大导致的单晶硅表面平行微凹槽、重凝层及不规则微纳结构使均方根斜率、界面扩展面积比及表面接触角出现波动。液滴在梯度润湿性表面定向铺展分为加速与减速两个阶段,减速阶段速度伴随明显波动现象,小体积液滴的铺展速度更快。实现了飞秒激光高精度、非接触、过程可控的梯度润湿性表面制备,结果可为制备单晶硅微流控器件提供理论参考。