微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统

作     者：陈叶金 范光照 刘玉圣 CHEN Ye-jin;FAN Kuang-chao;LIU Yu-sheng

作者机构：合肥工业大学仪器仪表学院安徽合肥230009 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：2006年第27卷第1期

页      面：12-17页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金(50275048) 

主　　题：计量学 微/纳米探头 激光读取头 聚焦误差信号 音圈马达 磁滞补偿 

摘      要：采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。