白光干涉谱数据处理的新方法

作     者：张秀达 严惠民 杜艳丽 聂永军 施柏煊 ZHANG Xiu-da;YAN Hui-min;DU Yan-li;NIE Yong-jun;SHI Bai-xuan

作者机构：浙江大学光电工程系国家光学仪器重点实验室国家光学仪器工程技术研究中心浙江杭州310027 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2005年第32卷第3期

页      面：93-96页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家高科技 863 资助项目 

主　　题：白光干涉术 干涉谱 距离测量 信噪比 数据处理 

摘      要：提出了一种基于动态均值滤波、二次曲线法解调和拟合法求光程差的数据处理新方法。与传统的算法比较,动态均值滤波避免了耗时的快速傅立叶变换,二次曲线法解调有更好的解调精度,拟合法求光程差可去除噪音较大的数据。新算法有快速、可使用的测量范围大和抗干扰能力强的优点。新方法可适用的白光干涉谱数据距离范围为 10μm 到 100μm。在样品上采集到的白光干涉谱数据的对比度约为 0.06、信噪比约为 18dB。用新方法和传统方法分别对这些数据进行了处理。新方法处理结果的短期数据方差小于 10nm,精度比常用方法好 4 倍。