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棱体工作面平面度及其检测——介绍卧式激光平面度干涉仪

作     者：胡国玙 

作者机构：中国计量科学研究院 

出 版 物：《计量技术》 (Measurement Technique)

年 卷 期：1991年第2期

页      面：6-7页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主　　题：棱体 平面度 检测 激光干涉仪 

摘      要：正多面棱体(以下简称棱体)是目前测量圆分度误差的常用标准计最器具之一。它以严格的几何形状误差(如工作面平面度、工作面对定位面的垂直度、工作面的表面粗糙度及工作角偏差等)保证其准确分度。通常使用中工作角偏差可按检定结果予以修正。因此,其它各项就成为影响分度精度的因素,而其中工作面平面度尤为突出。测量棱体工作角时。

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