3.5～4.0μm低温光谱带通滤光片的设计与研制

作     者：蔡渊 刘定权 罗海瀚 

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所上海200083 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2012年第39卷第1期

页      面：152-156页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：薄膜 光学薄膜 带通滤光片 低温光谱 中波红外 

摘      要：新一代气象卫星对红外带通滤光片的光谱控制提出了很高的要求:滤光片在工作温度(92K)下的光谱曲线被严格限定在一个由内、外框组成的区域之内。分别采用Ge和SiO作为高低折射率膜层材料,设计了含有4个谐振腔的带通膜系来提升通带边缘的陡度;对带通膜系中反射膜层的光学厚度进行了优化调整,压缩了通带内的波纹;根据膜层材料的折射率-温度变化特性,设计出了低温条件下符合光谱要求的带通滤光片。采用真空蒸发和光学极值监控的方法,研制出了92K低温下符合内、外框限制要求的带通滤光片,其通带内的峰值透射率达到93.2%,平均透射率达到91%,波纹幅度控制在5.2%以内。