电容式硅微机械加速度计系统的特性研究
Analysis of Characteristics on Capacitive Silicon Micro-accelerometer System作者机构：东南大学仪器科学与工程系
出 版 物：《宇航学报》 (Journal of Astronautics)
年 卷 期：2005年第26卷第4期
页 面：446-449页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 0704[理学-天文学]
摘 要：微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,影响其性能有多方面的因素。现详细分析了电容式微加速度计敏感模态的工作原理,阐述了不同情况下提高加速度计静态灵敏度所应采取的措施,给出了加速度计三种振动模态的谐振频率与结构参数之间的关系,通过对加速度计集总模型分析,得到了反映和影响加速度计性能的阻尼、灵敏度、分辨率和吸附电压等关键物理量的具体表达形式。从而可知,加速度计的性能和梁的尺寸,检测质量块质量、极板面积、开孔数目等因素有关。
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