二维解耦微位移工作台的设计与有限元分析

作     者：吴从焰 潘效龙 张晓峰 刘传桂 WU Cong-yan;PAN Xiao-long;ZHANG Xiao-feng;LIU Chuan-gui

作者机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院安徽合肥230009 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2014年第10期

页      面：67-68,72页

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基　　金：合肥工业大学2012年国家级大学生创新创业(训练 实践)计划项目(201210359001) 

主　　题：微位移工作台 驱动器浮动 柔性铰链 

摘      要：微位移工作台在微机电系统、超精密加工和生物医学工程等领域有广泛的应用。设计了一种驱动器浮动的二维解耦微位移工作台。工作台采用双层柔性铰链杆对称一体化结构,消除了X、Y方向的耦合运动。推导了微位移工作台的理论刚度。为了验证此微位移工作台能够满足设计要求,采用有限元方法进行分析计算,有限元计算得到的微位移工作台刚度与微位移工作台的理论刚度吻合较好,并且通过有限元计算的结果验证了工作台在X、Y方向的运动无耦合。