基于时域傅里叶变换的波长移相算法
Algorithm of Phase-shifting by Wavelength Tuning Based on Temporal DFT作者机构：上海大学精密机械工程系上海200072
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2004年第25卷第4期
页 面：310-313页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理。这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测。介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法。叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果。
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