基于相位测量偏折术的透镜波前像差测量
Measurement of Wavefront Aberration of Lens Based on Phase Measuring Deflectometry作者机构:四川大学电子信息学院四川成都610065 四川大学空天科学与工程学院四川成都610065
出 版 物:《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)
年 卷 期:2022年第59卷第2期
页 面:294-302页
核心收录:
学科分类:0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金:国家自然科学基金面上项目(61875142) 国家自然科学基金区域创新发展联合基金(U20A20215) 四川大学工科共性学科特色方向建设计划(2020SCUNG205)
主 题:测量与计量 光学检测 相位测量偏折术 透镜波前像差 棱镜模型
摘 要:提出了一种将有像差透镜当作理想薄透镜与棱镜阵列组合的模型,该模型可用于验证透射式相位测量偏折术测量透镜波前像差的可行性。ZEMAX和Matlab软件的仿真结果表明,该棱镜模型中正向光线追迹和逆向光线追迹得到的透镜波前像差近似相等。基于该结论搭建实验装置并测量了口径为75 mm的单透镜波前像差,实验结果表明,该方法仅需一台CCD相机和一台LCD显示器就能完成测量,具有设备简单、易于操作的特点,且不需要复杂的标定过程,为透镜波前像差的测量提供了一种在线检测方法。