AlN薄膜对太阳能吸收率的研究
RESEARCH ON AlN THIN FILM FOR SOLAR ABSORPTANCE作者机构：大连理工大学三束材料改性实验室材料科学与工程学院大连116024 兰州物理所表面工程国家重点实验室兰州730000
出 版 物：《太阳能学报》 (Acta Energiae Solaris Sinica)
年 卷 期：2012年第33卷第1期
页 面：68-72页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：表面工程技术国家级重点实验室基金项目(9140C540105080C5402)
摘 要：采用磁控溅射方法,在高纯氩气和氮气混合气氛下成功制备出Al(W)-AlN系太阳能选择性吸收薄膜。借助吸收光谱分析,比较了Al、W两种反射层材料上制备单层AlN和多层AlN薄膜的光谱吸收特性。结果表明:多层AlN薄膜比单层AlN薄膜的吸收性能好;W比Al更适合做反射面材料,W-渐变型多层AlN膜系对太阳能的吸收率可达到80%以上。
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