激光法合成SiC粉末的机理研究
作者机构:河北大学物理系
出 版 物:《量子电子学》 (Chinese Journal of Quantum Electronics)
年 卷 期:1994年第11卷第2期
页 面:39-40页
核心收录:
学科分类:081704[工学-应用化学] 07[理学] 070304[理学-物理化学(含∶化学物理)] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0703[理学-化学]
摘 要:激光法合成SiC粉末的机理研究韩理,于威,傅广生,张连水(河北大学物理系,保定071002)采用强脉冲激光诱发等离子体化学反应制备固态材料是近几年发展起来的激光应用技术。本工作利用脉冲TEACOZ激光诱发SiH4+CH4等离子体气相反应合成了纳米级S...