基于硫系玻璃的微纳光子器件研究进展

作     者：菅佳玲 叶羽婷 李钧颖 施依琳 孙春雷 马辉 吴江宏 罗邺 林宏焘 李兰 JIAN Jialing;YE Yuting;LI Junying;SHI Yilin;SUN Chunlei;MA Hui;WU Jianghong;LUO Ye;LIN Hongtao;LI Lan

作者机构：西湖大学工学院浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室杭州310024 浙江西湖高等研究院前沿技术研究所杭州310024 浙江大学信息与电子工程学院杭州310027 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：2021年第49卷第12期

页      面：2676-2690页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金(62175202,12104375,91950204) 西湖大学启动基金 

主　　题：硫系玻璃 微纳光子器件 集成光学 中红外传感 相变材料 柔性光子 

摘      要：硫系玻璃由于具有较高的折射率、宽的红外波段透明窗口、较低的非线性损耗和较快的非线性响应,在光学器件领域具有巨大的应用潜力。随着近年来微纳器件加工技术的进步,基于硫系玻璃制备的新型微纳光子器件,在通信、安全、医疗、环境等领域得到了广泛的应用。本工作从硫系玻璃的物理光学性质出发,就硫系玻璃的薄膜制备工艺、微纳器件加工方法、光学器件应用及发展前景分别展开论述。